廣義橢偏儀

廣義橢偏儀是一種用於物理學、生物學、材料科學、機械工程領域的計量儀器，於2011年10月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：廣義橢偏儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、生物學、材料科學、機械工程
• 啟用日期：2011年10月26日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀

技術指標

測量參數：反射橢偏ψ（0-90度）和Δ（0-360度）或Tan(ψ),Cos(Δ)透射橢偏ψ（0-90度）和Δ（0-360度）或Tan(ψ),Cos(Δ)退偏15個穆勒元，相對於M11；橢偏儀光譜範圍193nm到1680nm,1050通道；光譜解析度1nm解析度(波長小於1000nm)2.5nm解析度(波長大於1000nm)；光斑直徑常規為3mm左右,聚焦後小於200微米；數據採集速率（典型）：1-10秒（全光譜1050個波長）；。

主要功能

廣義橢偏儀主要用於納米電子學、納米材料學、納米生物學以及納米製造等領域內各種功能材料和體材料的光學性質和結構特性分析。