MEMS技術前沿與套用發展

內容簡介

《MEMS技術前沿與套用發展》是一部深入論述微機電系統（MEMS）技術發展前沿與套用的專著，共分為12章。前3章從MEMS的基礎概念、基本方法破題，圍繞MEMS的製造、集成、測試技術加以展開，從矽／非矽微加工到封裝、集成與測試技術，並從軍事航天的套用領域對MEMS製造與集成技術進行了分析及討論；第4章至第10章詳細介紹了慣性MEMS技術、射頻MEMS技術、微能源MEMS技術、生物MEMS技術、可穿戴／植入MEMS技術、空間MEMS技術以及*環境套用的MEMS技術；第11章和第12章分別討論了MEMS技術的新原理新效應，以及MEMS技術的產業化發展現狀。

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《MEMS技術前沿與套用發展》內容新穎，文獻豐富，數據充實，適合與微米納米技術相關的MEMS、納米技術、微電子、光電子、感測與測控等領域科技人員與管理者，以及高等院校相關學科的科研人員、研究生、高年級本科生等閱讀。

圖書目錄

第1章緒論

1．1 MEMS的概念

1．2 MEMS的歷史

1．3 MEMS的特點

1．4 MEMS與lC的區別

1．5 MEMS的現狀及套用領域

參考文獻

第2章 MEMS製造與集成技術

2．1 緒論

2．2 MEMS製造技術發展

2．2．1 矽微加工技術概述

2．2．2 非矽微加工技術概述

2．2．3 其他加工製造技術

2．2．4 材料製備技術

2．2．5 MEMS器件封裝技術

2．3 MEMS製造技術套用實例

2．3．1 MEMS製造技術套用實例

2．4 集成技術發展

2．4．1 集成技術發展

2．4．2 微納器件的三維集成

2．4．3 微納器件的系統集成

2．5 MEMS集成技術套用實例

2．5．1 軍事套用

2．5．2 航天套用

2．5．3 生物套用

2．5．4 產業進展

2．6 MEMS製造與集成技術展望

2．7 本章小結

參考文獻

第3章 MEMS測試技術

3．1 緒論

3．2 測試技術發展歷程

3．2．1 測試技術歷史回顧

3．2．2 測試技術的國內外發展現狀

3．3 測試技術發展關鍵技術

3．4 測試技術套用實例

3．4．1 MEMS繼電器測試

3．4．2 MEMS掃描微鏡測試

3．5 本章小結

參考文獻

第4章慣性MEMS技術

4．1 緒論

4．2 MEMS加速度計

4．2．1 單軸電容檢測式MEMS加速度計

4．2．2 三軸電容檢測式MEMS加速度計

4．2．3 其他檢測方式的MEMS加速度計

MEMS技術前沿與套用發展

基本介紹

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