《MEMS技術及套用》是2018年11月高等教育出版社出版的教材，作者是蔣莊德。
生物醫學感測技術的創新和套用的進展直接關係到醫療器械，尤其是新型診斷及治療儀器的水平，因此，國際上將該技術的研究與推動放在非常重要的地位。生物醫學感測技術是電子信息技術與生物醫學交叉的產物，具有非常旺盛的生命力。醫療保健高層次...
CMOS電路技術是當今微電子的主流技術,本書主要介紹如何將MEMS與CMOS電路集成的方法和套用。內容包括CMOSMEMS的製備工藝、材料表征及其與電路或系統的集成化技術;CMOSMEMS技術在慣性感測器、壓力感測器、指紋感測器系統、化學感測器、生化感測器、...
《MEMS技術及套用》是2018年11月高等教育出版社出版的教材，作者是蔣莊德。內容簡介 本書討論的主題是微機電系統（MEMS）這一前沿交叉學科。作者通過對MEMS 技術的主要方面：結構、材料、工藝、設計、測量進行系統論述，並隨之對MEMS ...
書中分別介紹了MEMS套用，數種典型的物理感測器和化學感測器的工作原理及製造工藝；對各類微操作器/微執行器、微機械零件、微泵及微機電系統也做了比較詳細的論述，之後介紹了與生物晶片相關的技術及納米技術。《微納米技術及其套用》可供...
4月9日，中國電子科技集團公司第十三研究所承擔的863計畫先進制造技術領域項目“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS器件中的套用”通過科技部組織的專家驗收。驗收會由科技部高技術研究發展中心組織，來自東南大學、北京大學、北京理工...
將來人們可以在身上配備測量人體功能的MEMS感測器和驅動器，保證個人處於最佳健康狀態，幫助保持積極生活方式，並提供自動的預防保健。Bio MEMS器件及系統現已成為MEMS技術套用市場中發展最快的領域，特別是在藥物的發現和篩選、疾病診斷、生物...
MEMS技術及其套用 《MEMS技術及其套用》是哈爾濱工業大學出版社出版的圖書，作者是李德勝
高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用,2019年度國家科學技術進步獎二等獎,主要完成人 黃慶安，周再發，聶 萌，徐 波，夏長奉，黃見秋，李偉華，唐潔影，朱 真，王 磊 高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用,2019年度國家科學技術...
《微機電系統(MEMS) 元器件、電路及系統集成技術和套用》是2020年機械工業出版社出版的圖書，作者是維卡斯·喬杜里（Vikas Choudhary）。內容簡介 本書共19章，分為兩大部分:第1～9章為突破性技術部分，討論各類新型微機電系統（MEMS）...
相對於其他的MEMS器件及系統研究，射頻微電子機械系統(RF MEMS)是近年出現的新研究領域，所謂RF MEMS就是利用MEMS技術製作各種用於無線通訊的射頻器件或系統。RF MEMS包括套用於無線通訊領域的各種無源器件如：高Q值諧振器、濾波器、RF ...
2、 向與CMOS集成的機電一體化技術發展。相對體矽工藝，表面工藝由於保持了襯底的完整性，更容易與CMOS工藝兼容，美國的ADI公司推出的基於BiMOS工藝和表面加工技術的集成加速度計在汽車上獲得了廣泛套用，到2004年銷售超過了1億隻。實現...
《MEMS集成設計技術及套用》是2014年12月出版的書籍，作者是苑偉政。圖書信息 書名MEMS集成設計技術及套用 書號978-7-118-09583-8 作者苑偉政 出版時間2014年12月 譯者 版次1版1次 開本16 裝幀精裝 出版基金國防科技圖書出版基金 頁數...
12.4視覺感測器的套用 12.4.1單目視覺感測系統 12.4.2雙目視覺感測系統 思考題與習題12 第13章微機電系統 13.1概述 13.1.1mems簡介 13.1.2mems現狀及發展 13.2mems在軍事航天領域的套用 13.2.1mems技術在軍事領域的套用 13...
1.3 MEMS的製造技術 1.3.1 微電子加工工藝 1.3.2 精密加工 1.3.3 特種加工 1.4 MEMS技術的套用 1.4.1 MEMS感測器的套用 1.4.2 射頻MEMS器件的套用 1.4.3 生物MEMS的套用 1.4.4 光學MEMS的套用 1.5 MEMS的發展...
容易與 CMOS 工藝及其它音頻電路相集成, 並具有改進的噪聲消除性能與良好的 RF 及 EMI 抑制能.MEMS麥克風的全部潛能還有待挖掘，但是採用這種技術的產品已經在多種套用中體現出了諸多優勢，特別是中高端手機套用中。
採用微機電系統來實現對焦成像的鏡頭組件。採用MEMS技術的其他類別感測器卻已經套用到我們生活中的各個領域，經常使用到的麥克風、陀螺儀、硬碟驅動頭，以及不甚熟悉的醫療設備、汽車部件、航空器材，都有MEMS技術的廣泛參與。產品特點 MEMS...
航空航天特種MEMS製造技術及其套用，苑偉政等人完成的技術發明。主要完成人 苑偉政（西北工業大學）喬大勇（西北工業大學）馬志波（西北工業大學）常洪龍（西北工業大學）謝建兵（西北工業大學）鄧進軍（西北工業大學）所獲榮譽 2020年1月10日，...
MEMS技術除了用於光交換外，還可用於DGEF（動態增益均衡濾波器），可變光衰減器，可程式光分插復用模組，動態色散補償器件等。廣泛的套用和不斷成熟的技術使得MEMS的製作成本有望在不久的將來大幅度降低。這將真正使得原來只能用於骨幹通信...
先進MEMS衛星設計製造關鍵技術及套用，尤政等人完成的技術發明。主要完成人 尤 政（清華大學）邢 飛（清華大學）張高飛（清華大學）趙開春（清華大學）周 斌（清華大學）所獲榮譽 2020年1月10日，榮獲2019年度國家技術發明獎二等獎。
MEMS(微機電系統)最初大量用於汽車安全氣囊，而後以MEMS感測器的形式被大量套用在汽車的各個領域，隨著MEMS技術的進一步發展，以及套用終端“輕、薄、短、小”的特點，對小體積高性能的MEMS產品需求增勢迅猛，消費電子、醫療等領域也大量...
Chia Chang博士認為，現在還不可能實現利用微電動機械系統（MEMS）作為微流體驅動力，因為“還沒有設計出這樣的微電動機械系統”。至少到目前為止，一直都在套用非機械的流體驅動設備。剛剛興起的技術有史丹福大學Stephen Quake研究小組開發的...
隨著MEMS慣性器件技術的進步，成本較低、體積較小的MEMS器件精度越來越高，“微慣導”定位技術己經逐步推廣到工業、消費等領域，且在消防救援、武警反恐、應急救援等領域中得到了比較成熟的套用。組成及工作原理 慣性導航系統是以陀螺儀和...
微機械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫，即微電子機械系統。微電子機械系統(MEMS)技術是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology）基礎上的 21世紀前沿技術，是指對微米/納米材料進行設計、加工、製造、測量和控制的技術...
1987-1988年間，一系列關於微機械和微動力學的學術會議召開，MEMS一詞在這些會議中被廣泛採納並漸漸成為一個世界性的學術用語。1993年，ADI公司成功地將微型加速度計商品化，並大批量套用於汽車防撞氣囊，標誌著MEMS技術商品化的開端。由...
這樣的技術在軍事上無疑將有很大的用處，這些套用主要包括有：微型機器人電子失能系統；螞蟻機器人；分散式戰場微型感測器網路；有害化學戰劑報警系統；微型敵我識別等方面。組成部分 微型機器人電子失能系統是一種特定的MEMS，它具有六個部分...
從發展來看，採用MEMS技術使太空飛行器制導、導航、控制系統小型化的工作已初露端倪。納米衛星的套用前景非常廣闊，但要真正變成現實還有很長的路要走。高級研究項目 1984年，美國國防高級研究項目局實施了全球低軌道信息中繼（GLOMR）計畫，在...
納電子機械系統是基於MEMS技術而提出的一個新概念，是指在特徵尺寸和效應上具有納米技術特點的一類超小型機電一體化研究領域，包括特徵尺寸在亞納米到數百納米並以納米級結構所產生的量子效應、界面效應和以納米尺度效應為工作特徵的器件和...
