《微納感測器及其套用》是2010年北京大學出版社出版的圖書，作者是朱勇、張海霞。
基本介紹
- 書名：微納感測器及其套用
- 作者： 朱勇，張海霞
- ISBN：9787301173787
- 類別： 圖書 >> 計算機/網路 >> 人工智慧
- 定價：￥28.00
- 出版社：北京大學出版社
- 出版時間：2010-7-1
- 開本： 16開
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書約32萬字，共分八章。
第一章對MEMS進行了概述，簡要介紹了MEMS技術的定義、基礎理論、製造技術及套用；其後的第二～七章分別以機械微感測器、熱微感測器、磁微感測器、光學微感測器與輻射微感測器、化學微感測器與生物微感測器和聲波微感測器為主題，介紹了不同種類微感測器的原理及套用；最後第八章介紹了一些感測器的套用實例。各章節後均有習題和參考文獻。
本書可作為本科生教材，也可供從事感測器工作的教學、科研和工程技術人員參考。
圖書目錄
第一章 MEMS概論
1.1 MEMS的定義
1.2 MEMS的基礎理論
1.2.1 微機械常用材料
1.2.2 微機械的固體力學問題
1.2.3 微機械的工作原理
1.2.4 微構造特性
1.3 MEMS的製造技術
1.3.1 微電子加工工藝
1.3.2 精密加工
1.3.3 特種加工
1.4 MEMS技術的套用
1.4.1 MEMS感測器的套用
1.4.2 射頻MEMS器件的套用
1.4.3 生物MEMS的套用
1.4.4 光學MEMS的套用
1.5 MEMS的發展前景
習題
參考文獻
第二章 機械微感測器的套用
2.1 位移微感測器
2.1.1 基本概念
2.1.2 電容和電感式位移微感測器
2.1.3 光學位移微感測器
2.1.4 超音波位移微感測器
2.2 速度和流速微感測器
2.2.1 基本概念
2.2.2 熱電式流速微感測器
2.2.3 電容式流量微感測器
2.2.4 壓阻式流量微感測器
2.2.5 共振橋式流量微感測器
2.3 微型加速度計
2.3.1 基本概念
2.3.2 壓阻式微加速度計
2.3.3 壓電式微加速度感測器
2.4 力、壓強和應變微感測器
2.4.1 基本概念
2.4.2 力微感測器
2.4.3 應力敏感的電子器件
2.4.4 矽微壓強感測器
2.4.5 電阻式應變微感測器
2.5 質量微感測器
2.5.1 基本概念
2.5.2 壓電式質量微感測器
2.5.3 表面聲波諧振感測器
習題
參考文獻
第三章 熱微感測器的套用
3.1 熱機械感測器
3.2 熱敏電阻
3.2.1 熱阻效應
3.2.2 金屬熱敏電阻
3.2.3 半導體熱敏電阻
3.3 熱二極體
3.3.1 基本原理
3.3.2 集成的熱二極體
3.4 熱電晶體
3.4.1 基本原理
3.4.2 集成的熱電晶體
3.5 熱電偶
3.6 其他電測量熱微感測器
3.6.1 熱開關
3.6.2 微熱量計
3.7 其他非電測量熱微感測器
3.7.1 溫度計
3.7.2 溫度指示器和光纖感測器
3.7.3 表面聲波溫度微感測器
習題
參考文獻
第四章 磁微感測器的套用
4.1 霍爾效應器件
4.1.1 霍爾效應
4.1.2 霍爾器件的工作原理
4.1.3 半導體中的霍爾效應
4.1.4 霍爾感測器
4.2 磁阻效應器件
4.2.1 磁阻效應
4.2.2 磁阻器件
4.2.3 磁阻感測器的套用舉例
4.3 磁敏二極體和磁敏三極體
4.3.1 磁敏二極體
4.3.2 磁敏三極體
4.4 磁通門微磁強計
4.4.1 磁通門微磁強計的結構
4.4.2 磁通門微磁強計的原理
4.4.3 磁通門微磁強計的套用
4.5 隧道效應磁強計
4.5.1 隧道效應磁強計的結構
4.5.2 隧道效應磁強計的原理
4.5.3 隧道效應磁強計的性能參數
4.6 超導量子干涉磁強計
4.6.1 約瑟夫森效應
4.6.2 磁場對直流約瑟夫森效應的影響
4.6.3 SQUID器件
習題
參考文獻
第五章 光學微感測器與輻射微感測器套用
5.1 光學微感測器
5.1.1 光學微感測器的主要性能參數
5.1.2 直接型光學感測器
5.1.3 光敏電阻感測器
5.1.4 間接光學微感測器
5.2 輻射微感測器
5.2.1 輻射粒子
5.2.2 光譜
5.2.3 核輻射感測器
習題
參考文獻
第六章 化學微感測器與生物微感測器的套用
6.1 化學微感測器
6.1.1 離子敏感測器
6.1.2 氣敏感測器
6.1.3 濕敏感測器
6.2 生物微感測器
6.2.1 酶感測器
6.2.2 微生物感測器
6.2.3 組織感測器
6.2.4 細胞感測器
6.2.5 免疫感測器
6.2.6 基因晶片
習題
參考文獻
第七章 聲波微感測器的套用
7.1 聲波微感測器概述
7.1.1 聲波技術和壓電效應
7.1.2 聲波的傳播
7.1.3 聲波的探測
7.2 體聲波微感測器
7.2.1 TSM諧振器
7.2.2 SH-APM感測器
7.3 表面聲波微感測器
7.3.1 表面聲波的類型
7.3.2 表面聲波的激發
7.3.3 基本的SAW器件
7.3.4 SAW感測器的測量原理
習題
參考文獻
第八章 微納感測器套用實例
8.1 基於手勢識別的多功能電子鑰匙
8.1.1 項目介紹
8.1.2 項目原理
8.1.3 項目設計方案
8.2 基於地磁感測器的數字指南針
8.2.1 項目介紹
8.2.2 項目原理
8.2.3 項目設計方案
8.2.4 項目優點
8.3 新型寵物伴侶
8.3.1 項目背景
8.3.2 設計方案
8.3.3 系統設計
8.3.4 軟體方案
8.3.5 系統測試
8.3.6 市場前景展望
8.4 電子便攜導盲棒
8.4.1 項目介紹
8.4.2 項目原理
8.4.3 項目設計方案
8.4.4 市場展望
8.5 多功能水蒸發器
8.5.1 項目介紹
8.5.2 項目原理
8.5.3 項目設計方案
8.5.4 市場調查分析
習題
參考文獻
附錄A 美新產品
A.1 美新加速度感測器
A.2 美新磁感測器——MMC212xMG
A.3 美新流量感測器——MFC001
附錄B 敏芯產品
B.1 敏芯微電子壓力感測器——MSPA15A
B.2 敏芯微電子矽麥克風聲學感測器——MSMAS42Z
附錄C 微電子學常用詞及縮略語
