《CMOS MEMS技術與套用》是2007年東南大學出版社出版的圖書，作者是（美）布蘭德。該書主要介紹如何將MEMS與CMOS電路集成的方法和套用。
基本介紹
- 中文名：CMOS MEMS技術與套用
- ISBN：9787564107840
- 作者：布蘭德(美)
- 出版社：東南大學出版社
- 出版時間：2007-07-01
- 開本：16開
- 裝幀：平裝
內容簡介,書籍目錄,
內容簡介
本書是目前國內外唯一敘述集成化MEMS的專著。CMOS電路技術是當今微電子的主流技術，本書主要介紹如何將MEMS與CMOS電路集成的方法和套用。內容包括CMOSMEMS的製備工藝、材料表征及其與電路或系統的集成化技術；CMOSMEMS技術在慣性感測器、壓力感測器、指紋感測器系統、化學感測器、生化感測器、熱感測器和RF器件及系統中的套用。
內容包括CMOSMEMS的製備工藝、材料表征及其與電路或系統的集成化技術；CMOSMEMS技術在慣性感測器、壓力感測器、指紋感測器系統、化學感測器、生化感測器、熱感測器和RF器件及系統中的套用。本書適合於微電子技術、微機電系統(MEMS)技術、感測器技術、通訊技術等相關領域的高年級本科生、研究生和工程技術人員參考。
書籍目錄
目錄
1製造工藝
2材料表征
3單片集成慣性感測器
4CMOSMEMS聲學器件
5CMOSRFMEMS
6CMOS壓力感測器
7CMOS化學感測器
8生物測定CMOS電容式指紋感測器系統
9CMOS生化敏感系統
10CMOS熱感測器
11電路和系統集成
