東南大學半導體專業由1958年開始籌建，1979年批准為碩士點，1985年批准為博士點，同年成立微電子中心，1998 年批准為博士後流動站。1999年開始申報微電子機械系統（MEMS）教育部重點實驗室， MEMS教育部重點實驗室於2001年9月通過教育部驗收正式成立，2002年和2007年先後順利通過教育部評估。
微電子機械系統（MEMS）教育部重點實驗室目前有包括教育部“長江學者獎勵計畫”特聘教授、國家傑出青年科學基金獲得者、教育部“新世紀優秀人才支持計畫”入選者在內的教授 9人，副教授12人。
基本介紹
- 中文名：微機械系統教育部重點實驗室
- 外文名：Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University
- 依託單位：東南大學
- 申報時間：1999年
- 獲批成立：2001年9月
- 發展理念：多元、協作、卓越
- 實驗室主任：黃慶安 教授
- 實驗室位置：南京市玄武區四牌樓2號南高院
- 學科領域：微電子學與固體電子學
- 研究領域：CMOS MEMS(感測器)、MEMS CAD
- 研究領域：RF MEMS、MEMS封裝與可靠性
- 研究領域：NMES
實驗室概況,研究架構,研究項目,科研成果,成果獲獎,地理位置,
實驗室概況
MEMS，即微電子機械系統，就是利用可批量化製造的微電子工藝，設計、製作和集成各類微小機械結構與系統的新興技術，被譽為“微觀世界的建築學”。面對系統智慧型化、微型化、集成化發展的時代需求，東南大學以微電子學與固體電子學學科為主體、聯合工程力學和機械工程學科，組建了MEMS實驗室。
1999年開始申報微電子機械系統（MEMS）教育部重點實驗室， MEMS教育部重點實驗室於2001年9月通過教育部驗收正式成立，2002年和2007年先後順利通過教育部評估。
實驗室依託東南大學電子科學與技術一級國家重點學科，是國家“211”工程、“985”工程重點建設部門。目前用房面積逾3200平方米，中心實驗室固定人員33人，其中教授9人、副教授12人。科研團隊中有教育部“長江學者獎勵計畫”特聘教授1人，國家傑出青年科學基金獲得者2人，教育部“新世紀優秀人才支持計畫”入選者5人。每年招收碩士約30人，博士約10人。
MEMS教育部重點實驗室（南高院）
MEMS教育部重點實驗室（南高院）實驗室 秉持“多元、協作、卓越”的發展理念，以國家需求為導向，面向國際前沿，實驗室在CMOS MEMS、RF MEMS、MEMS CAD、MEMS封裝與可靠性、NEMS等方向上成立了專業的研究團隊，團結合作，銳意進取，逐步發展成為國內外知名的MEMS研究基地。
研究架構
1）感測器研究室
NMES研究室（禮西-日新堂）
NMES研究室（禮西-日新堂）組長：黃慶安 教授
2）MEMS設計研究室
組長：周再發 研究員
3）RF封裝及可靠性研究室
組長：尚金堂教授
4）納米系統(NEMS)研究室
組長：孫立濤 教授
研究項目
微納米器件設定-黃慶安-東南大學科研成果
近五年已發表SCI收錄論文140餘篇、發明專利授權100餘項，專著、譯著逾10部，3項科研成果轉化套用，在MEMS領域頂級期刊JMEMS上發表論文9篇，居國內高校領先水平。主要論文發表在Nature, Nature Materials, Nature Nanotechnology, Nature communications, Physical Review Letters, Energy & Environmental Science, Advanced Materials, Advanced Functional Materials, 2D Materials, Nano Energy, MRS Bulletin, Small, Nanoscale, Journal of Physical Chemistry C, IEEE-Transactions on Electron Devices,Applied Physics Letters、Lab on Chip、JMM、S&A等維納材料或微納系統領域相關重要期刊上，所研製的微型氣象站系統和智慧型路面感測器系統已投入實用。
微機電系統基礎-黃慶安-東南大學-MEMS
微機電系統基礎-黃慶安-東南大學-MEMS成果獲獎
研究成果獲國家技術發明二等獎1項、江蘇省科技進步一等獎1項、教育部自然科學獎一等獎1項。
地理位置
地址：中國南京市玄武區四牌樓2號南高院（東門）
郵編：210096
