航空航天特種MEMS製造技術及其套用，苑偉政等人完成的技術發明。
基本介紹
- 中文名：航空航天特種MEMS製造技術及其套用
- 完成人：苑偉政等
主要完成人,所獲榮譽,
主要完成人
苑偉政（西北工業大學）
喬大勇（西北工業大學）
馬志波（西北工業大學）
常洪龍（西北工業大學）
謝建兵（西北工業大學）
鄧進軍（西北工業大學）
所獲榮譽
2020年1月10日，榮獲2019年度國家技術發明獎二等獎。
航空航天特種MEMS製造技術及其套用，苑偉政等人完成的技術發明。
航空航天特種MEMS製造技術及其套用，苑偉政等人完成的技術發明。主要完成人苑偉政（西北工業大學）喬大勇（西北工業大學）馬志波（西北工業大學）常洪龍（西北工業大學）謝建兵（西北工業大學）鄧進軍（西北工業大學）所獲榮譽202...
微機電系統（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術等密切相關，具有體積小、精度高、重量輕、性能可靠穩定、能耗低、靈敏度高、工作效率高，以及多功能智慧型化和適於大批量生產，成本低廉等一系列優點，有巨大的套用前景和經濟效益，被公認為21世紀的重點發展高科技前沿學科。
（b）微結構測試系統研究微結構器件測試系統體系結構、微弱信號檢測、通道模型、隔離抗干擾和信息獲取策略等方法和技術；研製基於雷射拉曼光譜儀與調製技術相結合的應力測試儀器，解決MEMS微結構靜、動態應力測試的難題。學科研究方向四：電子線路設計及套用 本方向主要以航天、航空、兵器等領域惡劣環境下的武器裝備自動檢測...
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