基本介紹
- 中文名：高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用
- 主要完成單位：東南大學、江蘇英特神斯科技有限公司、無錫華潤上華科技有限公司
高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用,2019年度國家科學技術進步獎二等獎
主要完成人：黃慶安，周再發，聶 萌，徐 波，夏長奉，黃見秋，李偉華，唐潔影，朱 真，王 磊
主要完成單位：東南大學，江蘇英特神斯科技有限公司，無錫華潤上華科技有限公司
華潤微電子獲國家科技進步二等獎
高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用
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