《新型集成雙穩態MEMS微電磁驅動器的理論與實驗研究》是依託上海交通大學，由戴旭涵擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：新型集成雙穩態MEMS微電磁驅動器的理論與實驗研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：戴旭涵
- 依託單位：上海交通大學
- 批准號：50405013
- 申請代碼：E0512
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費：23（萬元）
項目摘要
基於MEMS技術的光開關、微繼電器和射頻開關等器件分別是套用於未來全光通信網、先進儀器儀表和控制系統、相控陣雷達與移動通信等領域的基礎性關鍵器件。這類器件通常工作在開、關狀態，驅動行程在10微米至100微米，驅動力為毫牛頓量級、回響時間在毫秒至微秒量級，要求低功耗。靜電驅動由於工作電壓高、驅動力和輸出行程較小，難以滿足上述要求。微電磁驅動有望從根本上克服上述缺點，但需解決功耗和集成製造問題，以及如何進一步最佳化器件動態回響時間等性能指標。在大量前期研究基礎上，本項目提出一種蘊含磁雙穩機制，易於集成化和模組化的新型微驅動器，試圖從根本上解決光開關等器件中微電磁驅動的功耗和集成製造問題，並通過上述器件的建模分析和結構最佳化探尋縮短動態回響時間的有效途徑。同時研究原型器件的集成製造方法、測試並最佳化器件性能指標，驗證所提出方案的有效性和先進性，為高性能MEMS光開關等器件的最佳化設計和集成製造奠定基礎。
