《用於MEMS微振動及角位移測量的新型光纖感測技術研究》是依託清華大學，由趙勇擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：用於MEMS微振動及角位移測量的新型光纖感測技術研究
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：趙勇
- 項目類別：面上項目
- 負責人職稱：教授
- 批准號：50575111
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 申請代碼：E0511
- 支持經費：32（萬元）
項目摘要
微機電系統（MEMS）測試技術和方法已成為MEMS設計、製造及質量控制和評價的關鍵環節之一。精度高、簡單便捷、成本低的測試新原理、新方法已成為MEMS發展的迫切需要。本項目利用GRIN透鏡及陣列光纖的光學特性，基於矩陣光學分析方法和光纖光學模式理論建立光信號傳遞函式；提出一種用於MEMS測量的新型輪輻式光纖探頭結構和三維微振動及二維角位移測量新方法：一是基於輪輻式結構光纖陣列的特性建立被測信號與光點位置及接收光強度間的數學模型而實現二維角位移和豎直微振動的測量，二是基於光電位置敏感器件（PSD）與半反半透鏡、正三稜鏡等光學元件所設計的新穎結構實現水平二維微振動測量。這些方法將解決反射式強度調製型光纖感測器受被測面反射率變化、光源功率波動、環境光干擾影響的問題。項目的研究意義在於改進了傳統的用於MEMS測試的光纖感測器結構與方法，不僅可以測量多維機械參量，還有效地避免了誤差因素對測量的影響。
