矽基MEMS技術及套用研究

《矽基MEMS技術及套用研究》,是由王陽元等人完成的科研項目。

基本介紹

  • 中文名:矽基MEMS技術及套用研究
  • 完成人:王陽元等
  • 獲獎情況:國家技術發明獎二等獎
  • 獲獎編號:F-219-2-01
參與人員,獲獎記錄,

參與人員

主要完成人:王陽元、張大成、郝一龍、 閆桂珍、李 婷、張海霞

獲獎記錄

2006年度國家技術發明獎二等獎。

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