《矽基MEMS技術及套用研究》,是由王陽元等人完成的科研項目。
基本介紹
- 中文名:矽基MEMS技術及套用研究
- 完成人:王陽元等
- 獲獎情況:國家技術發明獎二等獎
- 獲獎編號:F-219-2-01
《矽基MEMS技術及套用研究》,是由王陽元等人完成的科研項目。
《矽基MEMS技術及套用研究》,是由王陽元等人完成的科研項目。參與人員主要完成人:王陽元、張大成、郝一龍、 閆桂珍、李 婷、張海霞1獲獎記錄2006年度國家技術發明獎二等獎。1...
《新型矽基MEMS蘭姆波諧振器的理論和關鍵技術研究》是依託天津大學,由龐慰擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 項目通過深入研究矽基MEMS蘭姆波諧振器基礎理論,研究三項涉及增強其性能、突破其發展瓶頸以期走向實際套用的關鍵技術,包括:蘭姆波諧振器Q值增強,寄生模式抑制以及諧振器溫度補償。課題組在研究蘭姆波諧振器...
《矽基MEMS製造技術》是2022年電子工業出版社出版的圖書,作者是王躍林 等。 內容簡介 隨著MEMS技術的不斷成熟和全面走向套用,MEMS晶片的量產問題變得越來越重要。顯然MEMS晶片的量產必須在積體電路生產線上進行,但是MEMS晶片製造與積體電路製造相比有明顯不同,這使得積體電路生產線在轉型製造MEMS晶片時會遇到一些特殊...
《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》是為描述矽基MEMS加工過程中所涉及的納米厚度膜軸向抗拉強度原位試驗的要求和試驗方法而制定的標準。2023年8月6日,《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布,並於2023年1...
“矽基MEMS技術及套用研究”獲國家發明二等獎和北京市科技進步一等獎;“小尺寸MOS器件可靠性及其套用技術研究”和“CMOS/SOI ASIC及深亞微米器件電路研究”均獲科技部、財政部、國家計委、國家經貿委“九五”國家重點科技攻關計畫優秀科技成果;“新型抗輻照CMOS/SOI積體電路技術研究”獲信息產業部科技進步二等獎;“...
研究矽基質子交換膜的質子傳輸機理,利用MEMS技術製造穿通的納米多孔矽膜作質子交換膜的載體,結合Nafion溶液形成矽基質子交換膜;探索新型高催化活性、高穩定性、低載量、阻醇的電催化材料,以及矽基微型DMFC金屬催化劑的上載方法;研究陽極微流體燃料自驅動機理及其實現方式,進行陰極排水機理的研究,實現陰極水的...
《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法》是為適用於採用微電子工藝製造的納尺度結構在一次衝擊負荷作用下的耐衝擊性能的測試而制定的標準。2023年8月6日,《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布,並於2023年12月1日實施。檔案...
《射頻矽基開關線型MEMS移相器的研究》是依託華東師範大學,由石艷玲擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 移相器大量套用於相控陣系統中,是相控陣雷達、衛星通信及微波測量系統中的關鍵元件之一。本項目研究一種新型的結合MEMS技術製備的低損耗開關線型移相器,該器件通過在傳輸線上載入高性能接觸式MEMS開關實現不...
研究對象 微機電系統 隨著MEMS技術的持續進步及其套用領域不斷拓展,微器件和微系統結構複雜性與功能多樣性的趨勢日趨明顯,非矽材料的套用需求也日益增加,由此帶動非矽MEMS材料、微細加工及其套用技術的全面發展,正逐漸形成與目前占主導地位的矽基MEMS相對應的非矽MEMS技術體系。其中,非矽微細加工技術是基礎,非矽...
基於氣體動力學原理設計和矽基MEMS技術加工的PDMS納升電噴霧空氣放大器,能夠產生同軸高速匯聚氣流束,對電噴霧樣品離子起到拖拽約束作用,在最佳化後的電噴霧實驗條件下可使電噴霧離子電流信號增加30倍。發表SCI論文一篇並申請發明專利二項。4、矽基MEMS微噴針陣列加工關鍵技術研究。採用矽基MEMS技術製造的微噴針內徑10...
北京市矽基高速片上系統工程技術研究中心著眼產學研用相結合,形成獨具特色的研究和科技轉化成果,建設成為矽基高速片上系統及套用領域內具有國際影響力的研究開發平台,全面開展了高性能高可靠性模擬/射頻系列晶片、射頻MEMS濾波器、相控陣射頻收發前端片上系統晶片、導航與通信/雷達套用的用戶終端專用集成晶片四項工程產品...
《基於MEMS技術的不等寬鍍膜微槽道平板熱管傳熱特性研究》是依託大連理工大學,由閆衛平擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 晶片散熱問題已成為制約電子器件套用的瓶頸,本項目開展適於晶片套用的矽基不等寬鍍膜微槽道平板熱管的研究。利用流體力學、熱力學和分子動力學模型,開展不等寬鍍膜微槽道微型平板熱管傳熱特性...
優於項目指標要求。通過振動台測試,加速度計量程為±1.4g。同時實現矽基撓性加速度計反饋控制功能。 ng解析度矽基撓性加速度計的研製為高精度慣性測量需求提供了一種低成本,低功耗,高穩定性的可選方案,在精密重力測量及慣性導航領域有重大套用前景,也為高精度矽基MEMS感測器在不同行業領域的套用提供參考。
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