《射頻矽基開關線型MEMS移相器的研究》是依託華東師範大學，由石艷玲擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：射頻矽基開關線型MEMS移相器的研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：石艷玲
- 依託單位：華東師範大學
- 研究期限：2004-01-01 至 2004-12-31
- 批准號：60306012
- 支持經費：7（萬元）
- 申請代碼：F0404
- 負責人職稱：教授
項目摘要
移相器大量套用於相控陣系統中，是相控陣雷達、衛星通信及微波測量系統中的關鍵元件之一。本項目研究一種新型的結合MEMS技術製備的低損耗開關線型移相器，該器件通過在傳輸線上載入高性能接觸式MEMS開關實現不同電長度傳輸通道的選擇，從而得到不同的相移量。項目研究並實現矽基上的低損耗、低驅動、高相移精度的開關線型MEMS移相器，有結構簡單、體積小、重量輕、成本低、易於與IC、MMIC集成等優點。該MEMS
