MEMS設計自動化關鍵技術與系統研究

《MEMS設計自動化關鍵技術與系統研究》是依託南開大學，由盧桂章擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：MEMS設計自動化關鍵技術與系統研究
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：盧桂章
• 依託單位：南開大學
• 批准號：60674068
• 申請代碼：F03
• 負責人職稱：教授
• 研究期限：2007-01-01 至 2009-12-31
• 支持經費：28（萬元）

中文摘要

面向MEMS設計自動化，本項目包括三項關鍵技術研究：1. MEMS工藝流程與版圖的自動設計；2.基於技能知識和過程虛擬的虛擬MEMS製造系統，著眼於虛擬加工出包含偏差的MEMS器件；3.柔性體振動問題的虛擬運行，著眼於柔性體多維、高時間解析度的振動行為的虛擬運行，其中包含了器件瞬態行為，以期對MEMS可靠性研究提供幫助。最終將上述各項關鍵技術集成到一個MEMS設計系統中，利用一個加速度計的設計、工藝及動態行為建模與仿真驗證本項目各關鍵技術的有效性。