西北工業大學長三角研究院微納系統技術研究中心依託極端環境智慧型微系統國家重點實驗室（培育）、空天微納系統教育部重點實驗室和陝西省微/納米系統重點實驗室，擬開展的主要研究方向分為兩大方面，即基於MEMS技術的微納感測器研究及基於MEMS感測器的微納系統集成研究。
基本介紹
- 中文名：西北工業大學長三角研究院微納系統技術研究中心
- 主管部門：西北工業大學長三角研究院
研究方向
（1）柔性熱膜微感測器及流體壁面剪應力測試儀產業化，該項目是國家重大科學儀器專項成果。柔性熱膜微感測器是典型的軍民兩用新型基礎核心元器件，它的突出優點是可以快速精密測溫。流體壁面剪應力測試儀是採用新原理、新方法，發揮微機電系統獨特優勢開發出來的，其可以解決氣動/水動實驗長期存在的壁面剪應力定點、定量、高解析度、動態測量的重大難題。
（2）研發MEMS空間光調製晶片、濾波晶片、超解析度成像陣列晶片及矽基超薄敏感膜片，可實現光學系統的小型化、智慧型化、無縫集成、功能倍增、片上集成式顯微成像、以及在光纖端面的一體化、低成本、高精度組裝等功能。採用自主智慧財產權的MEMS微振鏡，開展基於MEMS微振鏡的三維相機標定技術、機械手路徑規劃技術、堆垛/拆垛/無序抓取等物流自動化技術研究，開發出基於MEMS微振鏡的雷射投影結構光三維相機和雷射雷達；
（3）面向物聯網和可穿戴電子的微能源技術，研究了蜂窩式發電拓撲結構，突破了能量採集的關鍵製備技術和設計理念，輸出電壓達千伏級，功率密度達0.32mW/cm2，是現有報導能量密度最高的能量採集裝置之一，研製出分散式微能源PowerMEMS供能系統。網路化生物醫學感測器技術研究，包括皮膚生物感測器、血液感測器及生物電信號檢測感測器，可實現體徵生理病理指標參數的線上、實時、定點、動態、長期監測，為全球老齡化社會時代的人類健康服務。
（4）基於MEMS技術的微型組合導航系統研究，開展多感測器數據融合算法、MEMS慣性測量單元誤差標定及誤差補償技術研究，開發基於雙核同構CPU和雙核異構CPU處理器及擴展卡爾曼濾波最優估計算法的低功耗、小體積、低價格的MEMS微型套用系統，實現被測載體的準確定位、定姿參數測量。基於自主研發的MEMS感測器晶片基礎上開展MEMS陀螺、壓力感測器、溫度感測器、剪應力感測器後端接口電路及封裝技術研究，充分利用MEMS感測器體積小、重量輕、成本低的優勢，集中力量突破國內面臨的晶片國產化困局，打破國外技術封鎖，滿足航空航天、武器裝備等領域的高精度MEMS慣性感測器產品。
