《MEMS矢量水聽器及其套用》是2017年科學出版社出版的圖書，作者是張國軍。
基本介紹
- 中文名：MEMS矢量水聽器及其套用
- 作者：張國軍
- ISBN：9787030528674
- 類別：機械工程
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2017-06
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
水聽器作為聲吶系統的核心部件，直接影響到聲吶的性能。20世紀晚期出現的矢量水聽器可以同步共點地獲得聲場的聲壓和振速等信息，單只水聽器即可解決水下聲目標線陣聲吶左右舷模糊的難題，因而成為當前水下換能器領域發展的重要方向。20世紀70年代發展起來的MEMS技術因具有“3微”的特點，在感測器領域得以迅猛發展，並逐年提高其市場占有份額，然而將MEMS技術套用於水聽器在國內外尚不多見。本書系統地論述MEMS矢量水聽器的工作原理、微結構設計仿真、器件加工、系統集成及聲學性能測試等內容，最後對MEMS矢量水聽器及其聲電換能微結構的套用前景進行簡要闡釋，並給出工程上套用的實例。
圖書目錄
前言
第1章概述
第2章MEMS矢量水聽器微結構設計及仿真
第3章纖毛式MEMS矢量水聽器微結構加工集成
第4章纖毛式MEMS矢量水聽器晶片封裝集成
第5章纖毛式MEMS矢量水聽器室內性能測試
第6章纖毛式MEMS矢量水聽器湖、海試性能測試
第7章MEMS矢量水聽器及其纖毛仿生微結構工程套用初步
參考文獻
