雷射干涉測長系統

雷射干涉測長系統是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的儀器，於2018年5月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射干涉測長系統
• 產地：美國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2018年5月1日

技術指標

測量範圍：0-40m 測量精度：（±0.03+0.5L）μm。

主要功能

工具機運動軸，各類高精度直線導軌定位精度測量。