雷射長度測量

雷射長度測量指利用雷射精密測量長度。

基本介紹

• 中文名：雷射長度測量
• 外文名：aser length measure
• 誤差：小於O.2微米
• 誤差：4~5微米

雷射長度測量(laser length measure)

將雷射和麥可遜干涉儀相結合，可得到雷射干涉測長儀。測量時，干涉儀的一臂不動，另一臂從被測長度的起點移動到終點，記錄下相應干涉條紋變化的數目，就可以計算出長度值。由於雷射的單色性，即相干性很好，可精密測量的長度非常長，可達幾十米至幾百米。並且雷射的波長較短，測量的精度非常高，可達0.1微米。目前雷射測長儀已被廣泛用來進行各種精密長度測量，例如長度基準-米尺的精確測量，中國利用雷射測長儀進行測量，誤差小於O.2微米，達到了國際水平。在大規模積體電路生產中，要求製作的誤差小於1微米。用普通機械精密絲桿定位，誤差為4~5微米，不能滿足要求。雷射測長儀的精度較高，將雷射測長儀的傳動裝置改裝成快動和微動相結合的運動系統，就構成一台雷射微定位儀，可以滿足超大規模積體電路的生產要求。