《半導體工藝》是1999年科學出版社出版的圖書，作者是(美)K.A.傑克遜(Kenneth A.Jackson)。
基本介紹
- 中文名：半導體工藝
- 作者：(美)K.A.傑克遜(Kenneth A.Jackson)
- 譯者：屠海令
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：1999年6月
- ISBN：703007260X
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本卷介紹了半導體工藝的諸多方面內容。這套系列叢書的第4卷討論了半導體的基本電子結構和性質。本卷內容涵蓋了與半導體製備相關的廣泛的工藝過程，始於半導體材料的提純，製作器件用的單晶的生長，然後是外延生長工藝、摻雜與腐蝕，卷中還包括有關器件結構和器件工藝的章節，結尾論及保護器件及其與外部相連的封裝工藝。書中許多章節僅描述了寫書當時的技.術狀況。由於半導體技術仍處於迅速變革之中,此卷的一些內容可能在本書出版前即已過時。
圖書目錄
目錄
1 矽工藝
2 化合物半導體工藝
3 外延生長
4 光刻
5 選擇性摻雜
6 半導體工藝中的刻蝕工藝
7 矽器件結構
8 化合物半導體器件結構
9 矽器件工藝
10 化合物半導體器件工藝
11 積體電路封裝
12 互連繫統
索引
