《晶片製造——半導體工藝製程實用教程(第六版)》是2020年電子工業出版社出版的圖書，本書是一本介紹半導體積體電路和器件製造技術，在半導體領域享有很高的聲譽。
基本介紹
- 中文名：晶片製造——半導體工藝製程實用教程(第六版)
- 作者：（美）peter van zant（彼得·范·贊特）
- 出版社：電子工業出版社
- ISBN：9787121399831
內容簡介,作者簡介,
內容簡介
本書的討論範圍包括半導體工藝的每個階段： 從原材料的製備到封裝、 測試和成品運輸， 以及傳統的和現代的工藝。全書提供了詳細的插圖和實例， 並輔以小結和習題， 以及豐富的術語表。第六版修訂了微晶片製造領域的新進展， 討論了用於圖形化、 摻雜和薄膜步驟的先進工藝和尖端技術， 使隱含在複雜的現代半導體製造材料與工藝中的物理、 化學和電子的基礎信息更易理解。本書的主要特點是避開了複雜的數學問題介紹工藝技術內容， 並加入了半導體業界的新成果， 可以使讀者了解工藝技術發展的趨勢。
作者簡介
Peter Van Zant 國際知名半導體專家，具有廣闊的工藝工程、培訓、諮詢和寫作方面的背景，他曾先後在IBM和德州儀器（TI）工作，之後再矽谷，又先後在美國國家半導體（National Semiconductor）和單片存儲器（Monolithic Memories）公司任晶圓製造工藝工程和管理職位。他還曾在加利福尼亞州洛杉磯的山麓學院（Foothill College）任講師，講授半導體課程和針對初始工藝工程師的高級課程。他是《半導體技術辭彙》（第三版）（Semiconductor Technology Glossary, Third Edition）、 《積體電路教程》（Integrated Circuits Text）、《安全手冊》（Safety First Manual）和《晶片封裝手冊》（Chip Packaging Manual）的作者。他的書和培訓教程被多家晶片製造商、產業供貨商、學院和大學所採用。
韓鄭生，男，中科院微電子研究所研究員/教授，博士生導師，研究方向為微電子學與固體電子學，從事積體電路工藝技術、電路設計方面的工作，曾任高級工程師，光刻工藝負責人，研究室副主任兼任測試工藝負責人，矽工程中心產品部主任，項目/課題負責人。國家特殊津貼獲得者。國家自然基金面上項目評審專家。
