晶片製造--半導體工藝與設備

晶片製造--半導體工藝與設備

《晶片製造--半導體工藝與設備》是2021年機械工業出版社出版的圖書。

基本介紹

  • 中文名:晶片製造--半導體工藝與設備
  • 作者:陳譯,陳鋮穎,張宏怡
  • 出版社:機械工業出版社
  • 出版時間:2021年
  • ISBN:9787111688815
本書著重介紹了半導體製造設備,並從實踐的角度出發,選取了具有代表性的設備進行講解。為了讓讀者加深對各種設備用途的理解,採用了一邊闡述半導體製造工藝流程、一邊說明各製造工藝中所使用的製造設備及其結構和原理的講解方式,力求使讀者能夠系統性地了解整個半導體製造的體系。本書可作為從事積體電路工藝與設備方面工作的工程技術人員,以及相關研究人員的參考用書,也可作為高等院校微電子、積體電路相關專業的規劃教材和教輔用書。

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