電漿輔助外延

電漿輔助外延，利用電漿促進化學反應、降低反應溫度的氣相外延。

中文名稱	電漿輔助外延
英文名稱	plasma assisted epitaxy
定　　義	利用電漿促進化學反應、降低反應溫度的氣相外延。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）

基本介紹

• 中文名：電漿輔助外延
• 外文名：plasma assisted epitaxy
• 套用學科：材料科學技術
• 方法：電漿促進化學反應

• 中文名稱
• 電漿輔助外延
• 英文名稱
• plasma assisted epitaxy
• 定　義
• 利用電漿促進化學反應、降低反應溫度的氣相外延。
• 套用學科
• 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）