微波電漿輔助分子束外延是在分子束外延生長中，用高能量微波激勵氣體源物質輝光放電，產生活性氣體源粒子，提高生長薄膜晶體質量的技術。
| 中文名稱 | 微波電漿輔助分子束外延 |
| 英文名稱 | microwave plasma assisted molecular beam epitaxy |
| 定 義 | 在分子束外延生長中，用高能量微波激勵氣體源物質輝光放電，產生活性氣體源粒子，提高生長薄膜晶體質量的技術。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
- 套用學科
- 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）
