雷射輔助電漿分子束外延

中文名稱雷射輔助電漿分子束外延
英文名稱laser assisted plasma molecular beam epitaxy
定  義在分子束外延生長中,利用準分子脈衝雷射燒蝕高熔點氧化物靶,使氧化物沉積到襯底上生長薄膜的技術。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科)

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