脈衝雷射沉積系統

脈衝雷射沉積系統是一種用於化學領域的工藝試驗儀器，於2014年03月06日啟用。

基本介紹

• 中文名：脈衝雷射沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：化學
• 啟用日期：2014年03月06日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 汽車工藝實驗設備 > 紅外線汽車排氣分析儀

技術指標

溫度800℃，極限真空度6.67*10-6 Pa。

主要功能

提供真空及加熱環境，薄膜沉積。