脈衝雷射沉積與熱蒸發組合系統

脈衝雷射沉積與熱蒸發組合系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年12月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：脈衝雷射沉積與熱蒸發組合系統
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年12月11日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

主腔體背景真空可達1*10-10 Torr；主腔體能夠同時裝六個靶材；採用雷射加熱與紅外測溫，生長溫度可達1000 °C；具有高壓RHEED，可在2-~30 Pa氧壓下工作。

主要功能

用於生長組合薄膜。