脈衝雷射濺射沉積系統

脈衝雷射濺射沉積系統是一種用於物理學領域的計量儀器，於2009年12月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：脈衝雷射濺射沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2009年12月30日
• 所屬類別：計量儀器 > 聲學計量儀器 > 氣導聽力零級基準裝置

技術指標

真空室450mm、極限真空1*10-5Pa、襯底最大700℃。

主要功能

氧化物薄膜製備。