不同化學計量比B-C系列薄膜的脈衝雷射沉積與成分控制

不同化學計量比B-C系列薄膜的脈衝雷射沉積與成分控制

《不同化學計量比B-C系列薄膜的脈衝雷射沉積與成分控制》是依託武漢理工大學,由張聯盟擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:不同化學計量比B-C系列薄膜的脈衝雷射沉積與成分控制
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:張聯盟
  • 依託單位:武漢理工大學
  • 批准號:50772082
  • 申請代碼:E0204
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2008-01-01 至 2010-12-31
  • 支持經費:32(萬元)
項目摘要
項目以不同化學計量比B-C系列薄膜的最佳脈衝雷射沉積工藝及其組成成分控制為研究目標,重點研究B-C陶瓷的放電等離子反應燒結,揭示原料配比、模具滲碳與B-C陶瓷中硼碳比之間的變化規律及其對B-C陶瓷物相、微觀結構、純度、緻密度等的影響,實現B-C陶瓷成分的準確控制,製備出高純、高緻密、不同化學計量比的B-C系列陶瓷;研究B-C薄膜的脈衝雷射沉積工藝,建立靶材中硼碳比、沉積工藝參數(雷射能量密度、襯底溫度、襯底-靶距、襯底與雷射羽輝中心夾角等)與沉積B-C薄膜中硼碳比之間的定量關係,探討沉積工藝參數以及後續退火對B-C薄膜物相、晶態、表面形貌、微觀結構和純度等的影響,獲得結構完整、具有既定化學計量比的B-C系列薄膜,闡明其成膜機理和成分控制技術。預期成果將為國家點火裝置所需的B-C薄殼類高增益靶丸的製備提供合理的沉積工藝和成膜理論依據。

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