脈衝雷射沉積設備

脈衝雷射沉積設備

脈衝雷射沉積設備是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2005年9月1日啟用。

基本介紹

  • 中文名:脈衝雷射沉積設備
  • 產地:日本
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2005年9月1日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

真空度6.7×10-7Pa ;基板尺寸2 ;最高加熱溫度850℃ ;靶托6個,Φ20mm ;雷射器:Nd:YAG,355nm,10Hz,5ns,200mj/pulse。

主要功能

用於高溫超導薄膜,各種氮化物與碳化物薄膜,複雜的多元氧化物薄膜以及納米材料薄膜,多層結構和梯度結構薄膜的製備。

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