《基於脈衝雷射沉積富硼B-C薄膜的關鍵技術研究》是2017年科學出版社出版的圖書，作者是章嵩。
基本介紹
- 中文名：基於脈衝雷射沉積富硼B-C薄膜的關鍵技術研究
- 作者：章嵩
- 類別：礦山工程技術
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2017年11月
- ISBN：9787030553331
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書旨在利用脈衝雷射沉積技術，將其分別採用碳化硼陶瓷靶與硼碳拼合靶為靶材。通過對靶材成分、組成形式及沉積溫度等工藝參數的調整，得到表面平整、厚度均勻及成分可控的富硼B-C薄膜，建立靶材成分、組成形式和沉積溫度等工藝參數與薄膜組成、結構之間的關係，對該系列薄膜的生長機理進行分析研究。
圖書目錄
《博士後文庫》序言
前言
第1章導論
第2章富硼B－C陶瓷的製備、結構分析與成分控制
第3章採用B－C陶瓷靶的富硼B－C薄膜脈衝雷射沉積
第4章採用B－C拼合靶的富硼B－C薄膜脈衝雷射沉積
本書總結
參考文獻
