等離子增強型原子層澱積系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器，於2013年12月20日啟用。
等離子增強型原子層澱積系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器，於2013年12月20日啟用。技術指標Al2O3: 均勻性<3% ，擊穿電場>8MV/cm， 介電常數＞8.5 HfO: 均勻性<...
等離子增強原子層澱積系統是一種用於生物學、化學、物理學、農學領域的分析儀器，於2017年6月22日啟用。技術指標 可由計算機顯示並記錄機台所有異常數據（包括異常內容及異常時間）可由用戶設定用戶權利管理（包含：TE、EE、PE、ME）；...
等離子增強型原子層沉積系統是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2016年4月22日啟用。技術指標 原位檢測膜厚 原位質譜檢測 紅外光譜分析。主要功能 製備高溫超導用塗層、氧化物介電薄膜及氮化物薄膜材料等。如Al2...
等離子增強原子層沉積系統 等離子增強原子層沉積系統是一種用於物理學領域的儀器，於2015年08月28日啟用。技術指標 膜厚納米級，誤差小於正負1%。主要功能 等離子增強原子層沉積系統。
電漿增強型原子層澱積系統 電漿增強型原子層澱積系統是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2015年12月11日啟用。技術指標 反應腔：24cm/8/加熱溫度：25-400℃。主要功能 等離子態分析。
等離子加強原子層沉積 等離子加強原子層沉積是一種用於信息科學與系統科學領域的科學儀器，於2017年10月17日啟用。技術指標 FIJI F200。主要功能 等離子加強原子層沉積系統。
等離子體增強原子層沉積系統 電漿增強原子層沉積系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的分析儀器，於2017年10月24日啟用。技術指標 Savannah G2 s200。主要功能 測量用。
雙腔型等離子增強原子層沉積系統是一種用於物理學、化學領域的工藝試驗儀器，於2017年6月29日啟用。技術指標 由熱型和等離子反應腔組成的的兩個獨立的真空反應腔室組成。主要功能 常見氧化物，氮化物以及貴金屬單質薄膜的沉積。
感應耦合等離子增強化學氣相沉積系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2019年2月25日啟用。技術指標 13.56 MHz 的功率源驅動、可在很低的電漿勢能下、產生高達5×1011 cm-3（氬電漿）的等離子密度； 其下電極可容納直徑...
等離子體化學氣相澱積系統是一種用於材料科學、能源科學技術領域的工藝試驗儀器，於2014年02月28日啟用。技術指標 反應室數量為雙室，極限真空為2.0×10-5Pa（環境濕度≤55%），最大樣品尺寸為φ300mm，澱積不均勻性為≤±5％（φ...
等離子體化學氣相沉積系統是一種用於信息科學與系統科學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2016年1月4日啟用。技術指標 工藝溫度 300~350℃沉積速率 40nm/min膜厚均一性 ?2% (100mm樣品)?4% (200mm樣品)重複性 ?3% 折射率 (...
等離子體多源傳輸沉積系統是一種用於物理學領域的科學儀器，於2014年7月1日啟用。技術指標 沉積光伏用光學薄膜SiO2和Si3N4, 超硬功能材料AlN，TiN和類金剛石膜。主要功能 沉積光伏, 超硬功能材料AlN，TiN和類金剛石膜。
