等離子增強原子層澱積系統

等離子增強原子層澱積系統是一種用於生物學、化學、物理學、農學領域的分析儀器，於2017年6月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：等離子增強原子層澱積系統
• 產地：中國
• 學科領域：生物學、化學、物理學、農學
• 啟用日期：2017年6月22日
• 所屬類別：分析儀器 > 色譜儀器 > 離子色譜儀

技術指標

可由計算機顯示並記錄機台所有異常數據（包括異常內容及異常時間）可由用戶設定用戶權利管理（包含：TE、EE、PE、ME）；所有參數設定可自行設定誤差值誤差時間並提供報警；提供彈性化製程氣體及管路設定控制接口，配合許可權管理可自由增加或減少製程程式。

主要功能

檢測。