電漿多源傳輸沉積系統是一種用於物理學領域的科學儀器，於2014年7月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：電漿多源傳輸沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2014年7月1日
技術指標,主要功能,
技術指標
沉積光伏用光學薄膜SiO2和Si3N4, 超硬功能材料AlN，TiN和類金剛石膜。
主要功能
沉積光伏, 超硬功能材料AlN，TiN和類金剛石膜。
電漿多源傳輸沉積系統
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