真空物理沉積系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的儀器，於2017年11月28日啟用。
基本介紹
- 中文名：真空物理沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：信息科學與系統科學、物理學
- 啟用日期：2017年11月28日
技術指標,主要功能,
技術指標
380V,50Hz,PC控制。
主要功能
測量用。
真空物理沉積系統
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