微晶矽薄膜高速沉積系統

微晶矽薄膜高速沉積系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年12月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：微晶矽薄膜高速沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年12月26日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電子產品通用工藝實驗設備

技術指標

4室PECVD，真空度≤8*10-5Pa。

主要功能

微晶/非晶矽基薄膜，矽基化合物薄膜等PECVD沉積。