濺射儀

濺射儀是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2010年12月24日啟用。

基本介紹

• 中文名：濺射儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2010年12月24日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

4個2英寸磁控靶，2個射頻源，2個直流源，4英寸襯底，加熱至800°C。

主要功能

沉積各種金屬、電介質薄膜。能與蒸發鍍膜連用。