離子濺射儀器是一種用於交通運輸工程領域的分析儀器，於2016年06月28日啟用。
基本介紹
- 中文名：離子濺射儀器
- 產地：英國
- 學科領域：交通運輸工程
- 啟用日期：2016年06月28日
- 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
（1）樣品室大小：直徑120mm×高度120mm； （2）靶材：Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶，靶材尺寸：直徑57mm×厚度0.1mm； （3）樣品台：可以裝載12個SEM樣品座，高度可調範圍為50mm； （4）濺射控制：程式化數字控制，最大電流40mA； （5）濺射頭：低電壓平面磁控管； （6）厚度監控：MTM-20高分辨厚度控制儀，可自動終止濺射過程。
主要功能
掃描電鏡樣品製備。
