光子濺射儀

光子濺射儀是一種用於物理學、化學、材料科學領域的分析儀器，於2017年1月4日啟用。

基本介紹

• 中文名：光子濺射儀
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、化學、材料科學
• 啟用日期：2017年1月4日
• 所屬類別：分析儀器

技術指標

內部壓強8.0E-5Pa 總漏率1.0E-10Pa.m3/s。

主要功能

本設備可配合準分子雷射器作為能量激元凝聚設備，與真空腔配合實現定位，保持高真空。