雷射系統

雷射系統

雷射系統是一種用於化學工程領域的工藝試驗儀器,於2013年11月04日啟用。

基本介紹

  • 中文名:雷射系統
  • 產地:德國
  • 學科領域:化學工程
  • 啟用日期:2013年11月04日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

提供400mJ的沉積能量,平均能量50Hz,27kV。

主要功能

為PLD濺射提供能量。

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