飛秒雷射微加工系統

飛秒雷射微加工系統是一種用於材料科學領域的儀器，於2017年02月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：飛秒雷射微加工系統
• 產地：立陶宛
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年02月01日

技術指標

1.飛秒雷射波長: 1030 nm; 515 nm; 343 nm 2. 最高重複頻率: 1000 kHz 3. 脈寬：300 fs 4. 最高脈衝能量：85uJ 5. 三軸位移台定位精度：300 nm。

主要功能

1.微觀加工和鑽孔 2.表面微米和納米結構化 3.選擇性雷射燒蝕。