飛秒雷射微納加工系統

飛秒雷射微納加工系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器，於2016年10月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：飛秒雷射微納加工系統
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學
• 啟用日期：2016年10月8日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 機加工工藝實驗設備

技術指標

輸出中心波長 765~825nm；振盪器輸出種子光脈衝寬度≦20 fs，平均輸出功率＞900mW，重複頻率75~80MHz；放大器輸出脈衝寬度≦50 fs，平均輸出功率＞4W，重複頻率1KHz。

主要功能

該設備相比傳統的光刻工藝，基於雙光子吸收的飛秒雷射微納加工系統其雙光子吸收的發生主要在超快雷射脈衝所產生的超強雷射的焦點處，光路上其他地方的雷射強度不足以產生雙光子吸收，而由於所用光波長較長，能量較低，相應的單光子過程不能發生，因此，雙光子過程具有良好的空間選擇性。雙光子聚合利用了雙光子吸收過程對材料穿透性好、空間選擇性高的特點，在包括光子晶體, 超材料, 隱身材料, 生命科學, 細胞培養支架, 微流道, 生物晶片, 微系統, 微光學, 仿生學等在內的眾多國內外高端科學研究領域有著廣泛的套用。