飛秒雷射微加工

飛秒雷射微加工是一種用於機械工程領域的儀器，於2017年10月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：飛秒雷射微加工
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2017年10月1日

技術指標

平均功率≥400mW；最小頻寬≤10nm；重複頻率≥84MHz；噪聲≤0.05%；功率不穩定度≤0.5%；光束質量TEM00；脈衝寬度≤45fs；單脈衝能量≥13mJ；重複頻率≥1kHz；長行程XYZ工作檯：行程≥160mm×100mm×4.8mm，最小可控位移2nm。

主要功能

飛秒雷射光源系統產生飛秒脈衝雷射；功率放大系統完成功率放大；微納加工平台完成微細加工。