3D飛秒雷射光刻設備是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2013年9月11日啟用。
基本介紹
- 中文名：3D飛秒雷射光刻設備
- 產地：德國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2013年9月11日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 熱處理加工工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
1.fs光纖雷射器，脈衝長度大於120fs，重複頻率80MHz，平均功率大於120mW，中心波長780nm；2.加工面積：100x100mm2，掃描面積100x130mm2;3.配置透鏡：（1）x100，NA=1.4,WD=170um;（2）x63，NA=0.75,WD=1.7mm;4.夾具：（1）10x30mmΦ，適用基底厚度170um;（2）3x2’’Φ，適用基底厚度525um;（3）1x4’’Φ，適用基底厚度525um;5.隔震平台900x900mm2;6.定位精度：。
主要功能
功能：三維納米結構加工套用：微納結構加工。
