《並行式飛秒雷射三維納米光子學微結構加工技術研究》是依託南開大學，由李玉棟擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：並行式飛秒雷射三維納米光子學微結構加工技術研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：李玉棟
- 依託單位：南開大學
- 支持經費：22（萬元）
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：F0506
- 批准號：60408006
中文摘要
與傳統的光刻等二維微加工技術相比較，飛秒雷射納米加工技術具有本徵的三維加工能力，適用加工各種透明材料等優點。該技術對光電器件小型化、立體化和多功能化具有重要意義。該技術已成功地用於製作光子晶體等光子學器件和各種功能的微機械。目前，飛秒納米加工是靠逐點掃描實現的。雖然精度很高，但加工效率低，成本高，無法實現批量化生產。本項目研究並行式飛秒雷射納米微結構加工技術，利用光束的並行性，同時加工多個子結構，從而提高光學微結構整體加工速度。為此我們將研究高均勻性飛秒雷射分束技術，開發原位實時寫入監測系統，研究飛秒雷射與物質之間的相互作用，提高子結構之間的連線質量，最終通過多束雷射聚焦的焦點陣列同步三維描畫實現10路並行飛秒雷射微結構寫入。本研究將為正在興起的雷射納米加工技術走向實用化奠定基礎，對我國的光子學產業開發具有重要意義。
