飛秒微加工系統

飛秒微加工系統是一種用於物理學領域的分析儀器，於2019年6月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：飛秒微加工系統
• 產地：立陶宛
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2019年6月30日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 透射電鏡

技術指標

飛秒微加工系統具有三種輸出波長，1028nm、515nm、343nm，最大功率5W，單脈衝能量要達到85μJ·514nm；為不同的材料採用的刻蝕雷射。

主要功能

主要用於刻蝕晶片，刻蝕波導需要大量測試並根據光學存儲實驗最佳化波導刻蝕工藝，因此自主掌握此技術可大大減少這個環節的時間，並提高測試效率。