飛秒雷射鈣鈦礦薄膜太陽能電池精密加工設備是一種用於材料科學領域的雷射器，於2018年5月3日啟用。
基本介紹
- 中文名：飛秒雷射鈣鈦礦薄膜太陽能電池精密加工設備
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2018年5月3日
- 所屬類別：雷射器 > 雷射器 > 雷射器
技術指標,主要功能,
技術指標
中心波長:1030nm ★總功率:100W ★脈寬:～400fs-～10ps電腦軟體可調 ▲重複頻率:25 kHz-5MHz可調 ★具有PSO位置觸發功能 ★Burst模式:1-10個子脈衝（子脈衝間隔25ns） 光束質量:M21.3 ★功率穩定性：2% ▲空間準直輸出 光斑直徑：～2mm 輸出光斑偏振：線偏振 同步方式SMA TTL信號輸出 控制方式:R232或者DB25 電源要求AC 220V/5A ▲雷射器尺寸1200mm*410mm*141mm±5% ▲提供可視化GUI軟體，集成功率，重頻，Burst模式，光開關控制，PSO功能 大幅面電控位移系統： ★XY軸平台移動範圍不小於600 mm x 600 mm；Z軸不小於150 mm； ★定位精度 /- 5 um; 重複性 ／- 1 um; ▲最大移動速度 XY軸不小於 1 m/s，Z軸不小於 50mm/s ； ▲XY插補運動控制 ▲可視化GUI雷射、平台集成控制軟體 雷射掃描與傳輸系統： ▲最小光斑直徑 30 um; ★最大掃描加工速度不低於3m/s; ▲最大定位速度不低於10m/s; ▲定位精度。
主要功能
主要套用於薄膜鈣鈦礦太陽能電池組件的製備。在鈣鈦礦組件製備工藝環節中，太陽能電池的P1,P2,P3刻劃非常關鍵，其刻劃工藝的精度、對薄膜材料的損傷、缺陷的控制、刻劃斷面的粗糙度均對電池效率、壽命具有重大影響。飛秒雷射微加工技術具有高度可控性，對光電薄膜材料的損傷較小，因此非常適合開發相應的工藝用於製備大面積鈣鈦礦太陽能電池組件，是組件製備必不可少的工藝路徑和設備。
