《飛秒雷射濕法刻蝕技術製備光纖微流感測器》是依託深圳大學，由廖常銳擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：飛秒雷射濕法刻蝕技術製備光纖微流感測器
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：廖常銳
- 依託單位：深圳大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
光微流感測晶片因結構極其緊湊且功能高度集成，已成為化學和生物分析領域的研究熱點之一。目前光微流感測晶片通常製備在透明基片內，依靠空間光學耦合方式進行光信號的導入和導出，其耦合效率低、光學系統複雜、穩定性差。本項目首次提出採用飛秒雷射濕法刻蝕技術在石英光纖內部製作三維微流通道，構建光與被測物相互作用的反應池，並藉助光纖波導極佳的傳光性能靈活實現低損耗耦合，為光微流感測晶片技術提出了新方向。具體研究內容：（1）石英光纖中的飛秒雷射濕法刻蝕技術的機理和工藝研究；（2）光纖微流感測器的結構設計；（3）光纖微流感測器的製備與感測性能研究。項目的實施有望推動飛秒雷射微加工技術在新型光纖感測技術領域的發展。
結題摘要
通過一根光纖上實現各種功能性微結構的集成，光纖微流晶片能夠自動完成生物和化學分析中的各種常規與特殊功能，如進樣、樣品預處理、混合、分離和檢測等等，從而推動生化分析過程中的微型化、自動化、集成化與便攜化。本項目開展了基於飛秒雷射濕法刻蝕技術的光纖微流感測器的研製工作，實現了飛秒雷射-光纖濕法刻蝕工藝，實現了高靈敏度的光纖微流感測器的理論設計，實現了三種干涉式光纖微流感測器的實驗製備，實現了100000nm/RIU的折射率靈敏度。本項目申請中國發明專利11項（授權1項，其他10項為公布實審階段）；申請中國實用新型專利9項（全部授權）；發表論文27篇（SCI收錄26篇，EI收錄1篇），其中中科院一區論文3篇，二區論文14篇；培養在站博士後4人、博士生3人和碩士生12人。本項目研究突破傳統飛秒雷射加工技術難以克服的瓶頸問題，推動了飛秒雷射微加工在光纖微流器件領域的發展。本項目具有重要的科學意義和實用價值。
