晶圓探針台

晶圓探針台

晶圓探針台是一種用於信息科學與系統科學、電子與通信技術領域的分析儀器,於2012年02月03日啟用。

基本介紹

  • 中文名:晶圓探針台
  • 產地:日本
  • 學科領域:信息科學與系統科學、電子與通信技術
  • 啟用日期:2012年02月03日
  • 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針
技術指標,主要功能,

技術指標

能夠測試4,5,6,8寸的晶圓。Index精度:±4um。定位速度:254mm/s。

主要功能

EG4090是一台高精度的晶圓測試設備,用於自動載入晶圓,定位晶圓並完成晶片和探針卡的連線。

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