吉時利ACS-WLR系統具有全面的單器件和並行器件WLR測試功能。它們配置了2600A系列數字源表，通過每管腳SMU架構為系統提供了無可比擬的測試速度和精度。一個2600A雙通道源測量單元（SMU）非常適合於單器件可靠性測試。最小配置只需要一個2600A雙通道SMU；但是，大多數系統配置都支持在一個機架內配置8到40個SMU，滿足真正並行WLR特徵分析套用的需求。2600A SMU允許ACS-WLR架構為每個測試結構PAD提供高壓（200V）和高電流（1.5A）信號源與測量功能。這為用戶提供了最大的測試靈活性，用戶不必使用一種方案進行柵氧完整性分析，同時使用另一套系統進行金屬互連可靠性測試。無論是測試厚柵氧，還是測試先進的柵疊層，用戶只需簡單的操作即可完成壽命加速特徵分析。每個2600A SMU都可以單獨編程，因此可以對單個結構進行分離。
基本介紹
- 中文名：ACS晶圓級可靠性(WLR)測試系統
- 類型：測試系統
