高功率探針台

高功率探針台是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2012年07月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：高功率探針台
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2012年07月15日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

溫度均勻性±0.9℃,溫度範圍25－300℃,溫度精度0.02℃。

主要功能

滿足6英寸晶圓的在片測試。