大功率手動探針台是一種用於物理學、材料科學、動力與電氣工程領域的分析儀器，於2015年12月23日啟用。
基本介紹
- 中文名：大功率手動探針台
- 產地：中國
- 學科領域：物理學、材料科學、動力與電氣工程
- 啟用日期：2015年12月23日
- 所屬類別：分析儀器 > 質譜儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1.可兼顧DCIV/CV測試、RF測試、FA測試、Modeling等不同的測試套用需求。；2最大測試晶圓尺寸：8英寸，可兼顧8英寸以下6、5、4、3英寸晶圓及單個器件或其他材料基片的測試。；3.最高測試電壓能力：三軸模式（TRIAX）3000V，二軸模式（COAX）10000V。；4.最大測試電流能力：脈衝模式200A，直流模式10A。；5.配置專利微暗箱（Microchamber）；6.顯微觀察系統：採用先進的eVueIII全數字圖像放大觀察系統，放大倍數大於1000倍；7.載物台移動範圍：203mm#215;203mm,移動精度：+/-1um。；8.備配有與探針台一體的防震氣浮平台。；9..設備具有CE，SemiS2，S8認證。
主要功能
大功率手動探針台在保護測試人員安全及測試儀器安全的基礎上，通過調節探針台的各個部件機構，把被測器件的電極與測試儀器連線起來，完成電性能連線，實現測試儀器對被測器件的精確測量。
